洁净室气体管理

微电子洁净室里存放的设备一般用于电子元器件工艺的生产和研发，例如：物理气相沉积设备、化学气相沉积设备、蚀刻机等，这些工艺设备一般都会涉及气体的使用，而实验室的气体使用主要是气体钢瓶；气瓶应当独立于洁净室，单独存放在另外一间房间，同时应做好气瓶的使用台账；可燃性气体钢瓶应放进抽气的防爆柜中，做好钢瓶固定措施，并对气瓶进行定期安全巡查洁净室由于是相对封闭的实验空间，应对不同的危险性气体选择相对应的气体侦测器进行实时气体泄漏监测，同时应对整套泄漏监测系统设有紧急旋停按钮。